陶瓷防靜電地板帶電后電荷的衰減途徑通常有3條，其一是電荷會沿著地板表面切向的方向衰減，這一般稱為面衰減。面衰減是帶電的全鋼防靜電地板電荷衰減的主要因素，因為地板表面會存在的電勢差，所以電荷會隨著電勢差由高到低的方向來做擴散運動，且電荷衰減速度會隨著陶瓷防靜電地板表面電阻率的增加而加快。其二是電荷會沿著機房防靜電地板的厚度方向在地板內部衰減，這個我們一般稱之為體衰減。其三是電荷與空氣中的離子復合進行外部衰減，此外部衰減受環境因素影響較大，通常不太穩定。
有關陶瓷防靜電地板帶電后電荷衰減機制的初步理論探討如上文所述，實際使用情況下，電荷的衰減并非是一個單一的過程，現實中全鋼防靜電地板的電荷衰減途徑是由以上介紹的三種交織而成，但有時候因為環境因素的變化和機房防靜電地板使用條件的不同，有些衰減途徑會躍升為主要途徑，而有些則會下降到次要位置，但無論如何陶瓷防靜電地板的電荷衰減途徑都是由上述三種混合而成。
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